本报合肥1月19日电（记者丁一鸣 通讯员王敏）日前，光学中国科学技术大学光电子科学与技术安徽省重点实验室微纳光学与技术课题组教授王沛和副教授鲁拥华在精密位移的精密光学感测研究方面取得新进展 ，课题组设计了一种光学超表面，测量ea游戏平台【Aurl:www.8233066.com】送888元将二维平面的领域位移信息映射为双通道偏光干涉的光强变化 ，实现了平面内任意移动轨迹的获新大量程 、高精度非接触感测 。突破研究成果近日在线发表于《科学·进展》 。光学
纳米级长度和位移测量是精密光学精密测量领域的重要基础研究课题，在半导体叠对误差测量 、测量精密对准与跟踪等方面具有关键作用 。领域ea游戏平台【Aurl:www.8233066.com】送888元传统的获新光学干涉仪虽然可以实现纳米及亚纳米的测量精度 ，但系统复杂 、突破易受环境干扰 。光学为此，精密课题组在此前研究成果的测量基础上 ，进一步提出了一种基于超表面光场调控的二维位移精密测量光学新技术 。实验证明 ，该位移测量技术的精度可以达到0.3纳米，测量量程达200微米以上。
研究人员介绍 ，该技术能够同时测得二维位移信息，可有效被用于跟踪二维平面内的任意复杂运动 。课题组相关研究工作拓展了光学超表面的应用领域 ，提升了精密位移光学传感技术的可靠性和集成度，展示了超表面光场调控能力对传统光学技术的赋能作用。
